清华团队新成果 有望解决光刻机自主研发难题
近 日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心（HZB）以及德国联邦物理技术研究院（PTB）的合作团队在《自然》（Nature）上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》（Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching）的研究论文，报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。基于 SSMB 原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段，有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。“我国 EUV 光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于 SSMB 的 EUV 光源有望解决自主研发光刻机中最核心的‘卡脖子’难题。”唐传祥说。
光说没用，做点实际的成绩出来。
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